ULPA filtri nima? U HEPA dan qanday farq qiladi va ularning har biri qayerga tegishli

EN 1822 bo'yicha HEPA filtri odatda H13 yoki H14 ga ishora qiladi. ULPA filtri U15, U16 yoki U17 ga tegishli. H14 dan U15 ga sakrash qog'ozda kichik ko'rinadi, ammo penetratsion nuqtai nazardan bu katta qadamdir. H14 0,005% maksimal umumiy penetratsiyaga imkon beradi, U15 esa buni 0,0005% gacha kamaytiradi. Bu ruxsat etilgan penetratsiyaning 10 marta qisqarishi.

Bu xaridor eslashi kerak bo'lgan birinchi narsa:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•Sinov asosi oddiy 0,3 mkmlik marketing bayonoti emas, balki MPPS hisoblanadi

Yuqori samaradorlik odatda ifloslanishni nazorat qilishni kuchaytiradi, lekin havo oqimi dizayni va bosimning pasayishiga ko'proq tizim sezgirligini anglatadi.

EN 1822 samaradorlik sinflari

EN 1822 ga binoan, yuqori samaradorlik sinflari odatda havola qilinadi:

•H13: Umumiy samaradorlik 99,95% dan katta yoki unga teng

•H14: Umumiy samaradorlik 99,995% dan katta yoki unga teng

•U15: Umumiy samaradorlik 99,9995% dan katta yoki unga teng

•U16: Umumiy samaradorlik 99,99995% dan katta yoki unga teng

•U17: Umumiy samaradorlik 99,999995% dan katta yoki unga teng

Xuddi shu sinf jadvali mahalliy samaradorlik / kirish chegaralarini ham o'z ichiga oladi, ular oqishni skanerlash qabul qilish talabining bir qismi bo'lganda muhimdir.

Bu erda chalkashlik boshlanadi.

Bozorda ko'plab ULPA ma'lumotlar jadvallari hali ham ishlashni 0,12 mkm da 99,9995% deb ta'riflaydi. AAF mahsulot adabiyoti buni to'g'ridan-to'g'ri ULPA modullari va quti filtrlari uchun qiladi. Bu ibora hali ham keng tarqalgan va ko'plab muhandislarga tanish. Ammo EN 1822 / ISO 29463 bo'yicha rasmiy tasniflash mantig'i MPPS sinoviga asoslangan. Bu shuni anglatadiki, mahsulotlarni taqqoslashning eng xavfsiz usuli:

•Avval sinfni tekshiring: H14, U15, U16, U17

•Sinov standartini tasdiqlang: EN 1822 / ISO 29463

•Keyin yetkazib beruvchi o‘lchangan samaradorlikni ma’lumotlar varag‘ida qanday ko‘rsatganini ko‘rib chiqing

U15 sakrashi aslida nimani anglatadi

Bizning muhandislarimiz ko'pincha xaridorlarning muomalasini ko'rishadiU15"H14 dan bir oz yaxshiroq" sifatida. Bundan yaxshiroq. Ruxsat etilgan umumiy kirish bir kasrga kamayadi. Toza xona nuqtai nazaridan, bu jarayon faqat xonaning qulayligi-darajasida emas, balki nuqsonlar darajasida kurashayotganda muhim ahamiyatga ega.

Sog'liqni saqlash va operatsiya xonalari: maqsad gofret hosilini emas, balki infektsiyani nazorat qilishdir

Sogʻliqni saqlashni loyihalashda asosiy tashvish havodagi yuqumli kasalliklar xavfini, jarrohlik{0}}joyning ifloslanishini, bosim oʻrtasidagi munosabatlarni va kritik zonada toza havo oqimini nazorat qilishdan iborat. ASHRAE sog'liqni saqlash bo'yicha yo'riqnomasida shunday deyilganHEPA filtrlari 170 standarti boʻyicha faqat atrof-muhitni muhofaza qiluvchi{1}}xonalar uchun talab qilinadi, har bir sog'liqni saqlash sohasida emas. Operatsiya xonalari uchun asosiy e'tibor ta'minot diffuzorlari qatoriga, havo oqimi sxemasiga va xona bosimiga qaratiladi. Shuning uchun sog'liqni saqlash bo'yicha munozaralar odatda markazda bo'ladiHEPA, ULPA emas.

Ixtiyoriy ULPA ishlashini taklif qiluvchi sog'liqni saqlash mahsulotlari mavjud. Camfil'ning operatsion{1}}teatr shamollatish adabiyotlarida ba'zi tizimlar uchun ixtiyoriy ULPA filtrlari haqida so'z boradi. Ammo bu kengroq qoidani o'zgartirmaydi:standart sog‘liqni saqlash mezonlari HEPA{0}}sinf filtrlash hisoblanadi, ULPA esa standart javob emas, maxsus holat bo'lsa.

Yarimo'tkazgichli toza xonalari boshqacha. Camfilning yarimo'tkazgichlar bo'yicha ko'rsatmalari havodagi molekulyar ifloslanishni (AMC) qat'iy nazorat qilish bilan birga ISO 1-sinf zarrachalar darajalariga mo'ljallangan fablarni tavsiflaydi. Shuningdek, u litografiya, etch, diffuziya, metallizatsiya, ion implantatsiyasi, tekshirish asboblari va retikul yoki gofretni saqlash kabi ilovalarda HEPA va ULPA filtrlaridan foydalanishni ta'kidlaydi. MANN+HUMMEL shuningdek, H14 dan U17 gacha bo'lgan elementlardan foydalangan holda toza xonalar uchun FFU tizimlarini tavsiflaydi.

Shuning uchun yarimo'tkazgich xaridorlari ko'pincha HEPA dan ULPA ga o'tadilar:

•kritik zarrachalar kichikroq

•hosildorlikning yo'qolishi bevosita nano o'lchamdagi ifloslanish bilan bog'liq

•asboblar va mini{0}}muhitlar odatda atrofdagi fabga qaraganda qattiqroq nazoratga muhtoj

•zarrachalar bilan birga havodagi molekulyar ifloslanish ham muhimdir

Oddiy qoida:
•Agar xona bemor va xodimlarning ish oqimini himoya qilsa, HEPA odatda mos yozuvlar nuqtasi hisoblanadi.
•Agar xona gofret, niqob, toʻr yoki ilgʻor texnologik asbobni himoya qilsa, ULPA ancha keng tarqalgan boʻlib qoladi.

Yo'q. Avtomatik emas.

Qog'ozdagi yaxshiroq filtr har doim ham sohada eng yaxshi muhandislik tanlovi emas.

Xaridorlar ham solishtirishlari kerak:

• Dastlabki qarshilik

•ruxsat etilgan yakuniy bosim tushishi

•fan quvvati va energiya narxi

•havo oqimining bir xilligi

• muhrlash va skanerlash-test talablari

• gaz chiqarish harakati

•filtr tezroq tiqilib qolsa yoki havo tizimini qayta loyihalashga majbur qilsa, qo'llash xavfi

Bizning muhandislarimiz ko'pincha ULPA ni ko'rishadi, bu erda H14 tizimning past qarshiligi va past operatsion xarajatlari bilan haqiqiy jarayon talablariga javob berishi mumkin edi. Qarama-qarshi xato ham sodir bo'ladi: HEPA yarimo'tkazgich yoki mikroelektronika RFQ ga ko'chiriladi, chunki bu ko'proq tanish atama. Har ikki yorliq ham yaxshi xarid amaliyoti emas.

Bu nuqta har doim e'tibordan chetda qoladi.

Yarimo'tkazgich va mikroelektronika muhitida muammo faqat zarrachalarda emas. Bundan tashqari, filtrning o'zidan molekulyar ajralib chiqadi. Camfilning ta'kidlashicha, uning yarimo'tkazgichli prefiltrlar diapazoni HEPA filtrlarini bor chiqarmasdan himoya qilish uchun mo'ljallangan va yarim o'tkazgichlardan foydalanish uchun HEPA/ULPA mahsulotlari juda kam gaz chiqarish uchun mo'ljallangan. AAF mikroelektronika tomondan ham xuddi shunday fikrni bildiradi va bor{3}}erkin va kimyoviy inert filtr muhiti mikroelektronikaga zarar etkazishi mumkin bo'lgan gazlanishni- cheklashini ta'kidlaydi. Hollingsworth & Vose, shuningdek, kam{6}}bor mikroshisha muhitini yarimo'tkazgichli fabrika toza xonalari uchun mo'ljallanganligini tasvirlaydi.

Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda izlarning ifloslanishi nazariy emas. Havodagi molekulyar ifloslanish va kimyoviy qoldiqlar gofret yuzalariga, optika va texnologik asboblarga ta'sir qilishi mumkin. Camfil kislotalar, asoslar, organik moddalar, refrakterlar va boshqalar bilan bog'liq bo'lgan kiruvchi reaktsiyalar ekanligini aniq ta'kidlaydi.dopantlarnuqsonlarni yaratishi va uskunaning samaradorligini kamaytirishi mumkin. Bor yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda qo'shimcha element hisoblanadi, shuning uchun havo yo'lidagi materiallardan nazoratsiz borning chiqishi fabslar oldini olishga harakat qiladigan narsadir.

Shuning uchun elektronika xaridorlari tez-tez so'rashadi:

•kam-borommaviy axborot vositalari

•past-gaz chiqarishyopishtiruvchi moddalar va komponentlar

•Mikroelektronika uchun maxsus qurilgan ULPA yoki yuqori{0}}HEPA/ULPA modullari

•litografiya, etch, yupqa plyonka yoki tekshirish asboblari muhitiga mos keladigan toza xona filtrlari

Bu muhim. Har bir toza xonada-bor filtr muhiti kam bo'lishi shart emas.

Bu qachon muhim bo'ladi:

jarayon yarimo'tkazgich yoki mikroelektronikadir

xaridor AMC va materiallarni gazdan chiqarishni boshqaradi

fabrika yoki asbob ishlab chiqaruvchi kimyoviy tozalik bo'yicha qat'iy xususiyatlarga ega

iz ifloslanishining narxi juda yuqori

Ko'pgina farmatsevtika, shifoxona yoki standart sanoat toza xonalari uchun bu talab hech qachon RFQda ko'rinmasligi mumkin.

1. Standartni tekshirmasdan 0,3 mikrondagi HEPAni 0,12 mikrondagi ULPA bilan solishtirish

Belgilangan test asosi va sinfini tasdiqlamaguningizcha, bu olma{0}}apelsin bilan- solishtirishdir. EN 1822 / ISO 29463 tasnifi MPPS atrofida qurilgan.

2. ULPAni belgilash, chunki u "xavfsizroq"

Agar tizim bosim tushishini o'zlashtira olmasa yoki jarayon bunga muhtoj bo'lmasa, yuqori samaradorlik bepul yangilanish emas.

3. Elektronikada gaz chiqarish va kimyoviy tozalashga e'tibor bermaslik

Yarimo'tkazgichli ilovalarda filtrning o'z materiallari muhim ahamiyatga ega. Kam{1}}bor va past-gaz chiqarish konstruksiyalari samaradorlik klassi kabi muhim bo‘lishi mumkin.

4. RFQda “ULPA filtri”ni sinfsiz yozish

Jiddiy RFQ aytishi kerakU15, U16 yoki U17, shuningdek, sinov standarti va hajmi.